简介:摘要:采用化学浴沉积法在以硫酸锌(ZnSO4·7H2O)和自制的硒代硫酸钠(NaSeSO3)作为Zn2+源和Se2-源的化学溶液体系中制备了ZnSe纳米晶薄膜,通过扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)和分光光度计等测试方法,研究了不同的Zn/Se物质的量比对ZnSe纳米晶薄膜的表面形貌、晶体结构、光学透过率和禁带宽度等物理和光学特性的影响。结果表明,反应液中Zn/Se物质的量比对ZnSe纳米晶颗粒尺寸及致密性影响较大,当nZn/nSe=1:4时制备的ZnSe薄膜有较好的致密性和均匀性。不同Zn/Se物质的量比条件下均制备出(111)取向的立方晶型ZnSe纳米晶薄膜,光学禁带宽度为3.05-3.13eV。当nZn/nSe≤1:4时制备的ZnSe薄膜在450-800 nm波段透过率达75%以上。