简介:研究表明含氟气体的性质决定了原子氟(F)的转化效率,通常在CxFy气体中x的值越大,氟(F)的转化效率也就会越高。所以C3F8(八氟丙烷)比C2F6(乙氟烷)具有更高的利用效率,更少的PFC(全氟化物)的排放。文章主要研究在以四乙氧基硅烷(TOES)为基础的离子增强化学气相沉积(PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition,PECVD)的清洗制程中,利用分解效率高的C3F8气体取代C2F6气体。通过实验设计(DesignOfExperiment,DOE),调整腔体压力、射频(RF)功率、气体流量等参数,最终得到最优化的新清洗配方。应用到实际的量产中,有效地降低了成本,减少了PFC的排放。
简介:Rotation in Reaction 19F+51VRotationinReaction19F+51V¥WangQi;LuJun;XuHushan;LiSonglin;ZhuYongtaiandZhangYuhuIndLssi...
简介:LetB(E,F)bethesetofallboundedlinearoperatorsfromaBanachspaceEintoanotherBanachspaceF,B+(E,F)thesetofalldoublesplittingoperatorsinB(E,F)andGI(A)thesetofgeneralizedinversesofA2B+(E,F).InthispaperweintroduceanunboundeddomainW(A,A^+)inB(E,F)forA2B+(E,F)andA^+2GI(A),andprovideanecessaryandsufficientconditionforT2W(A,A^+).Thenseveralconditionsequivalenttothefollowingpropertyareproved:B=A^+(IF+(T??A)A^+)??1isthegeneralizedinverseofTwithR(B)=R(A^+)andN(B)=N(A^+),forT2W(A,A^+),whereIFistheidentityonF.Alsoweobtainthesmooth(C¥)diffeomorphismMA(A^+,T)fromW(A,A^+)ontoitselfwiththefixedpointA.LetS=fT2W(A,A^+):R(T)\N(A^+)=f0gg,M(X)=fT2B(E,F):TN(X)R(X)gforX2B(E,F)g,andF=fM(X):8X2B(E,F)g.UsingthediffeomorphismMA(A^+,T)weprovethefollowingtheorem:SisasmoothsubmanifoldinB(E,F)andtangenttoM(X)atanyX2S.ThetheoremexpandsthesmoothintegrabilityofFatAfromalocalneighborhooldatAtotheglobalunboundeddomainW(A,A^+).Itseemstobeusefulfordevelopingglobalanalysisandgeomatricalmethodindifferentialequations.
简介:在20世纪介绍中国文化的英文期刊中,经常出版的一个中国人的名字,是“FangF.Sec”。“FangF.Sec”是谁呢?记得《文汇读书周报》上曾见到过复旦大学周振鹤教授的文章,谈到“FangF.See”的中文名字。可是,当时自己是随手翻阅,看过没有再做记录,但在哈佛图书馆的英文期刊中屡屡见有“FangF.See”这个名字,就开始留意起来。从文章所谈内容,有不少是与商务印书馆和当时中国的印刷出版有关,我猜想这位“FangF.Sec”大概是商务印书馆英文部主任邝富灼(1869~1938)。后来果然在几处英文杂志上见到“FangF.See”旁标有中文:邝富灼。这证实了我的猜想。而且,英文期刊中,有时不知道是不是排印错误,经常会出版“FangF.Sec”的文章和介绍他的文章,对照文章内容,我想这“FangF.Sec”应该就是邝富灼。将“邝富灼”和“FangF.Sec”输入Google及Baidu搜索,有一些收获。英文的收获,是李欧梵教授在2005年5月15日《亚洲周刊》上刊发的在北京大学的演讲,其中说到自己的母亲就是邝富灼的女儿。
简介:Basedonthewhiteningpropertyofwavelettransformationfor1/fnoise,thispaperaddressestheproblemofdetectingdeterministicsignalsinthepresenceof1/ffractalnoise.Thetransferfunctionofwhiteningfilterisprovidedaswellastheconditionforwhitening.ThereceiverstructurebasedonKarhunen-Loeveexpansionandthedecisionrulearealsogiven.Finallyperformanceofthedetectorisanalyzed.