简介:摘要:预测性维修是近些年来维修领域当中主要研究的问题之一,本文将从通常的预测维修论点出发,分别比较了修复性维修,预防性维修,还有预测性维修之间存在的优点和缺点,并且通过维修半导体设备进行了一些预测性维修措施的论述。半导体再进行生产的过程当中都是以流水线的方式进行生产的,如果在生产的过程当中其中一台生产设备出现了问题那么将会给整个生产流程带来严重的损失。因此这就需要对一些重点用到的设备,进行监控和预知性的维修,从而将机器故障带来的经济损失给有效避免。预测性维修,主要就是将状态作为主要依据的一种维修方式,在生产设备在运行的过程当中,对设备进行实时的状态监测和定期故障诊断,判断出装备整个所处的状态,预测未来这个设备会朝着什么样分方向去发展等等。预先制定一些维修计划,保证机器能够在运作的过程当中处于正常的状态。因此可以看出半导体设备的预测性维修对于设备维修来说具有非常重要的意义。
简介:摘要:现如今,随着我国经济的加快发展,半导体设备工艺配方(以下简称配方),作为一种文件或者程序,储存在设备系统之中,可提供一种灵活的、可操作的和可重复利用的形式,可以供用户设置或者选择工艺顺序,以实现半导体器件的生产,也可以存储设备的辅助工艺,在设备维护、校准、清洗等过程中进行使用。生产设备可以使用一种或多种配方,来满足生产需求。配方可以在同类设备中复制使用,用户也可以在设备端进行编辑,这就为配方的管理提出了挑战。使用错误的配方或者配方设置不当会导致生产的成品率降低,甚至会危害设备或者用户的安全。因此,需要对设备端的配方进行严格管理。在早期的生产过程中,设备的自动化程度较低,主要靠人工来维护设备端的配方。随着工艺制程的不断发展,对设备的自动化程度要求越来越高,设备的配方内容也趋向于更加复杂。早期人工管理配方的方式已经不能满足生产线的需求,推动了主机端配方管理系统的面世。配方管理系统,作为自动化系统的子系统,通过半导体设备标准通信协议,可以控制设备端配方的上传、下载和修改。主机端获取设备端的配方后,可以对配方进行比对,以判断是否被修改或者是否满足当前产品的加工需求;同时也对设备端的配方管理程序提出了更高的要求。主机端与设备端需进行良好而正确地配方交互,才能实现配方管理系统的正常运行。
简介:摘要:现如今,随着我国经济的加快发展,半导体设备工艺配方(以下简称配方),作为一种文件或者程序,储存在设备系统之中,可提供一种灵活的、可操作的和可重复利用的形式,可以供用户设置或者选择工艺顺序,以实现半导体器件的生产,也可以存储设备的辅助工艺,在设备维护、校准、清洗等过程中进行使用。生产设备可以使用一种或多种配方,来满足生产需求。配方可以在同类设备中复制使用,用户也可以在设备端进行编辑,这就为配方的管理提出了挑战。使用错误的配方或者配方设置不当会导致生产的成品率降低,甚至会危害设备或者用户的安全。因此,需要对设备端的配方进行严格管理。在早期的生产过程中,设备的自动化程度较低,主要靠人工来维护设备端的配方。随着工艺制程的不断发展,对设备的自动化程度要求越来越高,设备的配方内容也趋向于更加复杂。早期人工管理配方的方式已经不能满足生产线的需求,推动了主机端配方管理系统的面世。配方管理系统,作为自动化系统的子系统,通过半导体设备标准通信协议,可以控制设备端配方的上传、下载和修改。主机端获取设备端的配方后,可以对配方进行比对,以判断是否被修改或者是否满足当前产品的加工需求;同时也对设备端的配方管理程序提出了更高的要求。主机端与设备端需进行良好而正确地配方交互,才能实现配方管理系统的正常运行。