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半导体级多晶硅隐性指标研究

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摘要摘要：集成电路产业是国民经济和社会发展的战略性、基础性和先导性产业，推动集成电路产业链上下游健康发展，是实现国家强盛的必由之路。根据我国国民经济“十四五”规划，国家对集成电路行业的支持政策已进入到“举国体制大力发展”的地步。半导体级多晶硅作为集成电路产业链中最上游的原材料，是产业的基础粮食，国家已出台各项政策，支持和鼓励企业技术研发及生产应用于集成电路领域的半导体级多晶硅产品，半导体级多晶硅材料早已被国家列入《电子专用材料制造》产业。

DOI zdlm2mqq4l/6647340

作者张云峰

机构地区新特能源股份有限公司 830011

出处《科技新时代》 2022年16期

关键词半导体级多晶硅隐性指标

分类 [][]

出版日期 2022年11月28日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）