摘要
摘要：现如今，随着我国经济的加快发展，半导体设备工艺配方（以下简称配方），作为一种文件或者程序，储存在设备系统之中，可提供一种灵活的、可操作的和可重复利用的形式，可以供用户设置或者选择工艺顺序，以实现半导体器件的生产，也可以存储设备的辅助工艺，在设备维护、校准、清洗等过程中进行使用。生产设备可以使用一种或多种配方，来满足生产需求。配方可以在同类设备中复制使用，用户也可以在设备端进行编辑，这就为配方的管理提出了挑战。使用错误的配方或者配方设置不当会导致生产的成品率降低，甚至会危害设备或者用户的安全。因此，需要对设备端的配方进行严格管理。在早期的生产过程中，设备的自动化程度较低，主要靠人工来维护设备端的配方。随着工艺制程的不断发展，对设备的自动化程度要求越来越高，设备的配方内容也趋向于更加复杂。早期人工管理配方的方式已经不能满足生产线的需求，推动了主机端配方管理系统的面世。配方管理系统，作为自动化系统的子系统，通过半导体设备标准通信协议，可以控制设备端配方的上传、下载和修改。主机端获取设备端的配方后，可以对配方进行比对，以判断是否被修改或者是否满足当前产品的加工需求；同时也对设备端的配方管理程序提出了更高的要求。主机端与设备端需进行良好而正确地配方交互，才能实现配方管理系统的正常运行。
出版日期
2023年12月29日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
