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固结磨料研磨蓝宝石单晶过程中研磨液的作用

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摘要摘要

DOI 54yykx8314/8141104

作者邸成达

机构地区福建兆元光电有限公司 350100

出处《工程建设标准化》 2024年2期

关键词蓝宝石单晶固结磨料研磨研磨液作用表面加工质量化学机械抛光

分类 [建筑科学][建筑理论]

出版日期 2024年04月09日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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来源期刊

工程建设标准化

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