多晶硅生产中尾气分置回收及应用

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摘要 摘要:光伏用多晶硅材料要求含Si>99.9999 %(6个N)以上,电子级多晶硅达到99.9999999%(9个N)以上。因其具有高纯度的特点,在整个生产过程中,对产品质量的控制要求很高。目前,生产多晶硅主要采用改良西门子法,因其转化效率一般为13%左右,大量的尾气需要回收利用,才能获得较好的经济效益与环境效益。
出处 《科技新时代》 2023年8期
出版日期 2023年07月28日(中国期刊网平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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