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多晶硅生产中的废气处理方法

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摘要摘要本文主要从笔者亲身参与的多晶硅的用途及分类与改良西门子法分析的废气主要处理工艺以及废气焚烧处理优化分析，旨在与同行探讨学习，共同进步。

DOI ojzgm75z45/2836446

作者张丽

机构地区广东省东莞市常平镇司马管理区晶苑工业城

出处《基层建设》 2016年36期

关键词多晶硅废气改良西门子法

分类 [建筑科学][建筑设计及理论]

出版日期 2016年12月22日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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