摘要
摘要：尾气回收是多晶硅生产的重要环节，不仅可以减少污染环境，还可以降低生产成本。多晶硅是制造集成电路、光伏太阳能电池等的关键材料。随着电子信息产业和太阳能光伏产业的快速发展，市场对多晶硅的需求不断增加。目前，制备多晶硅的主流工艺为改良西门子法，此法中三氯氢硅在还原炉内被氢气还原成晶体硅，进入还原炉的三氯氢硅仅有8%—10%左右转化成多晶硅，还原尾气中含有大量未反应的生产原料氢气(H1)、三氯氢硅(SiHCL3)和反应副产物四氯化硅(SiCl4)、氯化氢(HCL)、二氯二氢硅(SiH2Cl2)。因此对还原尾气回收综合利用既能实现物料循环利用，减少原料投入，降低多晶硅生产成本，又可以大大减少三废排放，保护环境。
出版日期
2023年01月12日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
