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7 个结果
  • 简介:扫描电镜能直观观察样品的表面结构,但其高分辨形貌成像图固有的噪声不利于图像分析。针对集成电路器件扫描电镜成像图的噪声问题,采用了通过滑动条方式自适应设置图像二值化阈值,将数学形态学处理方法与图像二值化相结合,实现了对图像噪声的自动去除处理;同时还设计了通过手动勾勒图像中的多边形区域实现去除噪声的功能;为使图像达到更好的效果,系统还可允许针对自动噪后的图像自行选择是否进行手动噪,并设计实现了风格直观简洁,易于操作的交互式用户界面。对多幅集成电路器件扫描电镜成像图进行噪声处理的结果和对噪前后的图像进行无参考图像质量评价的数据表明,该方法有效地改善了扫描电镜图的信噪比,获得了突出前景等有用信息。

  • 标签: 扫描电镜图 图像去噪 自适应阈值 质量评价
  • 简介:在共形光学系统中,椭球形整流罩打破了球形整流罩的旋转对称性,引入了随目标视场变化而变化的动态像差。共形光学设计的主要任务就是消除或者减小椭球形整流罩引入的动态像差,使共形光学系统的成像质量满足使用要求。设计了基于反向旋转位相的共形光学系统,利用一对反向旋转位相的反向旋转对目标视场进行动态扫描,利用固定校正器、衍射元件和泽尼克位相校正了椭球形整流罩引入的动态像差。成像系统采用二次成像的透射式结构,实现了冷光阑效率100%。结果表明:该方法不仅有别于传统扫描方式,而且有效地消除了大长径比的共形光学系统的动态像差。

  • 标签: 反向旋转位相板 整流罩 共形光学 光学设计
  • 简介:从军用光电系统实时数据传输的需求出发,提出了基于VxWorks实时操作系统PCI总线双机数据传输的设计方案。经测试,数据侍输速率达到94MB/s,能够满足军用光电系统实时数据传输要求。

  • 标签: 实时 数据传输 PCI总线 双口RAM
  • 简介:对于最大幅宽为500mm的胶片,提出了一种基于线阵CCD技术实现印刷电路胶片尺寸及缺陷的在线检测方法。设计的线阵CCD和被测胶片相结合的二维双向运动机构完成扫描成像。设计的成像系统使得线阵CCD成像范围覆盖一个被测单元的幅面,避免了图像拼接时所引入的误差。扫描图像先经模板匹配定位感兴趣区域,再对针孔区域、缺角区域分别采用了区域生长法和差影法来实现缺陷检测,线段区域则通过区域分割法来实现尺寸测量。实验表明,该方法不仅能够对针孔、缺角进行有效的判别,而且能准确地测量出线宽和线间距,分辨率可达0.025mm。

  • 标签: PCB胶片 光电测量 在线检测 图像处理
  • 简介:应用傅里叶变换轮廓测量物体三维面形时,当被测物体形状复杂或是被噪声严重污染时,导致频谱分布展宽,发生频谱混叠现象,基频提取困难,无法准确恢复物体的三维面型。提出了基于小波分解的傅里叶变换轮廓,采用小波变换的方法对变形条纹图进行二维多尺度分解,重构被测物的背景图像,滤出图像的零频成分,得到相对变形条纹。运用小波变换与傅里叶变换轮廓相结合的方法,只需拍摄一幅变形条纹图,将被测物体与背景分离,不受背景成分的影响,且易于基频信息的提取,降低了对滤波器的要求。实验证明该方法较好地防止了频谱的混叠问题,提高了测量范围与解相精度。

  • 标签: 傅里叶变换轮廓术 相对变形条纹 小波变换 多尺度分解