简介:在研发一套基于0.18μm工艺的全新半导体芯片时,由于芯片工艺的要求我们将标准0.18μm工艺流程中的接触孔蚀刻阻挡层由原来的UVSIN+SION改为SIN,但却引进了PID(等离子体损伤)的问题。当芯片的关键尺寸减小到0.18μm时,栅氧化层变得更薄,对等离子体的损伤也变得更加敏感。所以如何改善PID也成为这款芯片能否成功量产的重要攻坚对象。这一失效来源于接触孔阻挡层的改变,于是将改善PID的重点放在接触孔蚀刻阻挡层之后即后段工艺上。后段的通孔蚀刻及钝化层的高密度等离子体淀积会产生较严重的等离子体损伤,因此如何改善这两步工艺以减少等离子体损伤便成为重中之重。文中通过实验验证了关闭通孔过蚀刻中的磁场以及减小钝化层的高密度等离子体淀积中的溅射刻蚀功率可以有效改善芯片的等离子体损伤。通过这两处的工艺优化,使得PID处于可控范围内,保证了量产的芯片质量。
简介:摘要由于经济的发展和用工的需要,市场产生大量兼职岗位,为大学生兼职提供了条件。同时,高校收费体制的改革,国家财政不再为大学生提供全部的学费,对于相当多家庭而言,学习费用是一笔不菲的开支。基于经济原因,许多大学生会选择外出兼职以缓解经济压力。加之当下就业形势严峻,一部分大学生选择通过兼职丰富自己的经验为找到满意工作增添优势。根据笔者做的问卷调查结果显示,笔者所在高校75.5%的同学从事过兼职工作,其中43%的同学遇到过克扣工资、增加工作时长、工资水平低于当地最低工资标准的权益受损情况。当下在校学生多达2500万人,这意味着有近1800万大学生从事或者曾经从事过兼职,近千万的兼职大学生的权益受到过损害,因此兼职大学生权益的保护已经十分必要和迫切,而对兼职大学生权益保护的首要问题便是对大学生兼职行为的法律关系正确的认定。
简介:传统基于在线学习的网络浏览行为数据分析平台,缺乏大数据分析能力,无法挖掘和管理用户网络浏览行为,分析效率较低,具有一定的局限性。构建基于分布式集群的网络浏览行为大数据分析平台,平台总体结构由视图层、控制层、服务层、数据持久化层和数据层构成,使用分布式存储系统HDFS与分布式计算系统Spark组成的分布式集群存储和管理网络浏览行为产生的数据,通过数据上传流程将海量网络浏览数据源存储到分布式存储系统HDFS中,在Spark分布集群内运算数据挖掘任务,利用决策树ID3算法准确挖掘网络浏览行为。实验结果说明,所设计平台各项功能符合预期结果,平台进行数据源管理、用户行为分析的整体响应时间比基于在线学习的网络浏览行为数据分析平台低508.25ms、836.5ms,说明所设计平台具有较高的网络浏览行为大数据分析效率。