简介:摘要:氮化硅具有良好的介电特性(介电常数低、损耗低)、高绝缘性,高致密性的氮化硅对杂质离子有很好的阻挡能力。PECVD法工艺复杂,沉积过程的控制因素较多,沉积条件对介质薄膜的结构与性能有直接的影响,氧化硅薄膜通常采用PVD和CVD技术来制备。目前,在PECVD系统中,通过反应,获得了氧化硅薄膜。薄膜的沉积是在具有等离子体热系统中进行的,液体源经固定温度加热后,通过管道系统进入沉积室。该方法具有设备简单,衬底与薄膜结合性好,成膜的均匀性和重复性好等特点。同时,较低的沉积温度有利于实现更小的畸变、更佳的共形沉积和更快的沉积速率。PECVD 制备的氮化硅薄膜具有强度高、硬度高、介电常数大、折射率可调、透射率高、光衰减系数小和化学稳定性好等特点广泛应用。
简介:摘要项目工程标志着一个国家的整体水平,也显示着一个国家的整体精神面貌。热电工程总承包模式取代了传统热电工程项目,使得项目施工各个环节之间更加紧凑,工作效率也得到一定的提高。本文分析热电工程总承包模式的特点,提出现阶段我国热电工程中仍然存在的问题,通过热电工程总承包模式研究工程和项目设计之间的关系,来对这些问题加以解决。
简介:摘要由于我院传统的水泥路面组合结构设计采取的方法是依据以往经验并结合工程的实际情况选用标准图的方法,经此法选用的路面组合结构,虽然切实可用,但缺乏实际计算的支撑。本次研究即通过实际的计算来为路面组合结构的选型提供计算依据,使得水泥混凝土路面结构的选型更有依据。
简介:摘要:随着城市建设的不断发展,城市热电联产供热区域新增供热用户不断增多,尤其当热网末端新增热用户供热负荷较大时,由于热网输配能力不足(热源循环泵杨程、循环流量达不到工况需求、管网低点承压能力不足等),将无法满足热网末端新增用户的供热质量,为解决此类问题,权衡改造资金投入额度,建议热网末端加装中继泵措施,保障此类用户供热质量。