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  • 简介:扫描光刻技术是目前实现大口径压缩光栅等位相元件制作的一种有效方案,该技术考虑到大尺寸加工的困难,采用先小尺寸加工,然后连续扫描扩大加工区域的方法,既能保证大尺寸加工和较高精度,又能降低设备制作成本和难度,具有明显的优越性。扫描光刻技术中需要发展超精密检测和超精密定位装置以保证移动光刻过程能够得到精密的控制,特别是10^-6级的相对精度的控制。图1显示了XY超精密平台的测量定位系统。

  • 标签: 光刻技术 连续扫描 加工区域 制作成本 定位装置 精密检测
  • 简介:TB853.2199042625空间相机光学窗口的热光学评价=Thermal—opticalevaluationtoopticalwindowsofspacecam-era[刊,中]/赵立新(中科院空间科学与应用总体部.北京(100080))//光学学报.—1998,18(10).—1440—1444结合工程实际,以光学波像差的基本理论为基础对空间相机光学窗口的非轴对称温度场进行了热光学评价,编程计算了空间相机光学窗口在一个轨道周期内各典型位置处的均方根波像差,并把计算结果与美国"天空实验室"光学窗口的相应数据进行比较,以验证热光学分析的合理性、正确性。图2表2参3(严寒)TB87299042626光学相干层析成像技术的应用=Applicationofopticalcoherencetomography[刊,中]/胡晓云,刘琳,陆治国(西北大学物理系.陕西,西安(710069))//激光技术.—1998,22(6).—339—342介绍了光学相干层析成像技术在不同领域的应用,预言了未来的发展趋势。图2参13(赵桂云)TB87999042627时间分辨投影成像术的成像分辩率的理论研究=Imagingresolutionoftimeresolvedtomographyintissues[刊,中]/陈敏,陈建文,徐至展(中科院上海光机所.上海(201800))//光学学报.—1998,18(10).—1390—1394从漫射近似理论出发,详细讨论了漫射投影系统的透射光斑的点扩散函数与时间门的时间分辩率、探测器的有限大小、生物组织的厚度以及积分时间的关系。图5参14(严寒)

  • 标签: 光学窗口 空间相机 层析成像技术 波像差 热光学 光学相干
  • 简介:TH949.296031901形心测量跟踪电视系统=CentroidmeasurementandtrackingTVsystem[刊,中]/于前洋,黄廉卿,刘洵,张渤琳,刘丽琴(中科院长春光机所.吉林,长春(130022))//光学精密工程.-1995,3(5).-38-43论述了形心测量跟踪电视系统的构成、工作原理、关键技术及实用结果。图4表2参3(任延同)TN141.3396031902谈谈黑白显像管的光栅暗角=SuperficialviewonthegratingdarkcornerofB/Wpicturetubes[刊,中]/李臻峰(华东电子管厂.江苏,南京(210028))//光电技术.-1995,36(3).-48-51

  • 标签: 跟踪电视系统 工作原理 精密工程 形心测量 伪彩色处理 关键技术
  • 简介:O441.42005042976太赫兹(THz)成像的进展概况=ReviewoftheprogressofT-rayimaging[刊,中]/张蕾(首都师范大学物理系,北京(100037)),徐新龙…//量子电子学报,-2005,22(2),-129-134评述了太赫兹射线成像的进展情况。太赫兹(THz)辐射介于微波和红外之间。与微波、X射线、核磁共振(NMR)成像相比,太赫兹成像不仅能给出物体的密度信息,而且能给出频率域的信息,以及在光频、微波和X射线范围内所不能给出的材料的转动、振动信息。太赫兹射线与其他频段的电磁波相比,它能量低,不会造成对生物样

  • 标签: 太赫兹 光电子技术 探测技术 点扩展函数 成像系统 实验验证
  • 简介:高新技术材料与高技术武器装备叶宁英(桂林陆军学院物理教研室桂林541003)对现代科学进步和国民经济发展,增强国防实力具有重大推动作用的新发展和正在研制的材料,就是人们现今所说的高新技术材料,它们具有优异性能和特定功能,是发展信息、航天、能源、生物、...

  • 标签: 高技术武器装备 新技术 透明陶瓷 复合装甲 压电陶瓷 微电子技术
  • 简介:TG115.28196021311射线探伤最新国际标准简评=Adiscussiononrecentinternationalstandardsforradiographicexamination[刊,中]/李衍(无锡锅炉厂)∥无损检测。—1995,17(11)。—515—316,322对欧洲标准化委员会最近提出的一个射线探伤新标准提出一些看法,竞在结合国情与国际标准接轨时提供借鉴。图1表5参4(吴淑珍)TL816.196021312X射线二极管的灵敏度标定和应用=Calibrationof

  • 标签: 射线探伤 无损检测 二极管 新标准 国际标准接轨 灵敏度标定
  • 简介:TN1595010522光电器件近年来的发展趋向=Reviewofrecentdevelopmentinoptoelectronicdevices[刊,中]/缪家鼎(浙江大学.浙江,杭州(310027))//半导体光电.—1994,15(1).—1—6文章从光电器件的单元技术、成像器件和垂直腔面发射半导体激光器三方面评述了光电器件的进展,说明它是一个充满活力的研究领域。图12表1参2(任延同)TN1595010523光学器件与光计算机=Opticaldeviceandopticalcomputer[刊,中]/张桂萍(河北大学电子系,

  • 标签: 光电器件 垂直腔面发射半导体激光器 发展趋向 成像器件 光学器件 光计算机
  • 简介:TN2996031896光子计数探测的非线性失真及其改进的研究=Nonlineardistortioninphotoncountingandim-provingmethod[刊,中]/谭征(紫金山天文台.江苏,南京)//紫金山天文台台刊.-1995,14(2).-146-158对光子计数探测中堵塞漏计引起的非线性失真现象作了一些新的探讨和分析,提出了一套新的减少漏计的论证。该论证一旦实现,将会大大扩展光子计数探测的线性范围,进一步提高探测的灵敏度、信噪比和精度。图11参5(严寒)TN312.796031897高压超快脉冲电路研制=Generationofhigh

  • 标签: 光子计数 非线性失真 探测技术 紫金山 天文台 脉冲电路
  • 简介:O462.397063905GaAs光电阴极片原子级表面清洁方法的研究及评价=StudiesandevaluationonmethodstoobtainatomicallycleansurfaceofGaAsphotocathode[刊,中]/孙长印,张书明,马秀玲,候洵(中科院西安光机所.陕西,西安(710068))∥光子学报.—1996,25

  • 标签: 光电阴极 清洁方法 光子学 西安 中科院 陕西
  • 简介:TK51396031914高效Al2Ga1-xAs/GaAs太阳电池的研制及辐照效应=HighefficiencyAl2Ga1-xAs/GaAssolarcell:Fabrication,irradiationandannealingeffect[刊,中]/李标,向贤碧,游志朴(中科院半导体研究所),许颖,费雪英(四川大学物理系)//半导体学报.-1995,16(10).-741-746用液相外延技术制备了全面积转换效率18.65%(1.08cm2,AMO,1sun)及17.33%(2×2

  • 标签: 多晶硅太阳电池 转换效率 太阳能发电 辐照效应 半导体 大学物理
  • 简介:TN21598063906短波紫外光照射对n型碲镉汞探测器的影响=Effectofshortwaveultravioletradiationonn—typeHg1-xCdxTedetector[刊,中]/史衍丽,陈铁金,冯文清(昆明物理所.云南,昆明(650223)),吴兴惠(云南大学物理系.云南,昆明(650091))//红外与毫米波学报.—1997,16(6).—443—447

  • 标签: 毫米波 昆明 云南大学 光电导器件 探测技术 学报
  • 简介:O484.12003021228溶胶-凝胶TiO2制备透明激光全息薄膜的研究=StudyingofTiO2transparentcoatingbysol-gelwithlaserhologram[刊,中]/倪星元(同济大学波耳固体物理研究所.上海(200092)),邓忠生…//材料科学与工程.—2002,20(2).—217-219,213采用溶胶-凝胶方法在普通透明塑料基底上制备具有纳米结构的TiO2薄胶,用激光微雕模版将全息图案复合在该薄膜上制成透明激光全息薄膜。选择酸性催化TiO2

  • 标签: 薄膜材料 激光全息 制备 材料科学 纳米结构 凝胶