简介:摘要:集成电路芯片制造业是目前世界上技术先进、竞争激烈的行业之一。在芯片制造过程中,高纯度、高洁净度的特殊气体是必不可少的原料,如何将这些特种气体安全、洁净地输送到生产所需的机台中供其使用是当前研究的重点。文章对集成电路制造工厂内特种气体供应系统深化设计、施工工艺和验收前的质量检测进行了研究,对特种气体管道供应系统中应重点关注的内容进行了论述,希望为相关研究人员提供参考。
简介:摘要:与传统产业相比,电气工程及其自动化是一个高技术、强交叉的行业,它涉及多个学科和行业,且技术门槛较高。电气工程及其自动化行业是国家重点支持的战略性新兴产业之一,具有重大影响。