简介:等离子技术在印制电路领域已经广泛应用。主要应用于清洁、除胶、活化和凹蚀,其中除胶应用最广泛。文章首先在理解等离子蚀刻机理的基础上,对等离子蚀刻均匀性进行了研究,研究结果显示:影响等离子蚀刻均匀性的主要因素有边际效应、流量效应和周边气体效应,三者使等离子蚀刻呈“W型分布”。文章对“W型分布”机理进行了理论解释,并利用“W型分布”理论对等离子设备腔体的挡板及装板方式进行了优化。改善后等离子蚀刻均匀性由62.7%提升到了89.7%。文章还对等离子去钻污参数进行了研究。通过优化去钻污参数,等离子层间分离报废由23.9m^2/月降至0.49m^2/月,改善效果明显。
简介:目前,因“丙尔金”所引起的反响和是是非非,不仅波及到国内凡有镀金工序的行业,而且也震动了欧美、日本和韩国的同行们。可以说因“丙尔金”引发了一场国内外的风波。关于对“丙尔金”的定论、定性,应该期待我们政府最终的结论;我只表示对“丙尔金”风波的一些看法。1关于张群刚张群刚是一位高级工程师,1977年毕业于武汉大学,大学毕业后在基层从事技术工作30多年,他本人获得二十多项专利,其中有几项己被社会利用并发挥了很好的作用,他因此获得过许多奖项。张群刚是河南省劳动模范、全国化学工业劳动模范,曾接受过时任李鹏总理的接见,他的研发项目获河南省重点科技成果奖。