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  • 简介:TN305.72002032298光学邻近校正改善亚微米光刻图形质量=Opticalproximitycorrectionforimprovingpatternqualityinsubmicronphotolithography[刊,中]/石瑞英(四川大学物理系.四川,成都(610064)),郭永康(中科院微电子中心.北京(100010))//半导体技术.-2001,26(3).-20-26论述了近年来光学邻近校正技术的进展,讨论了各种行之有效的改善光刻图形质量的校正方法,并分析了邻近效应校正在未来光刻技术中的地位和作用。图8表1参14(李瑞琴)TN305.72002032299光刻技术在微细加工中的应用=Applicationoflithographytechnologytomicroelectronicmanufacturing[刊,中]/刘建海(上海先进半导体制造有限

  • 标签: 微细加工光学技术 光学邻近校正 光刻技术 半导体技术 中科院 大学物理
  • 简介:TN305.72005032365硅基微结构制作及其在微分析芯片上的应用=Fabricationofsilicon-basedmicrostructuresandtheirapplicationinmi-crochipsE刊,中]/孙洋(清华大学深圳研究生院.广东,深圳(518057)),钱可元…∥半导体光电.-2004,25(6).-477-479,483基于一种新的湿法刻蚀条件和新型的凸角补偿结构,以KOH溶液为腐蚀液,对单晶(100)Si材料进行了湿法刻

  • 标签: 衍射光场 飞秒激光 光刻胶 激光微细加工 光学工艺 抛光液
  • 简介:生产中遇到许多易变形弹性薄片零件,如常见的垫圈、摩擦片、特别的碟性弹簧,薄板、飞片等,它们刚性差、散热困难、装夹时易引起装夹变形,加工时会出现翘曲,严重影响零件的加工精度。对这类零件的精密加工技进行研究,对减少工件的热处理变形及装夹变形,减少变形工作对零件最终形成精度的影响,从而保证弹性薄片类零件的加工精度具有至关重要的意义。提高零件精加工前的精度以及减少零件装夹变形和减小切削力是提高零件加工精度的重要措施。对于力学性能要求较高的工件,一般都需要进行热处理,以提高工件的综合力学性能。

  • 标签: 弹性薄片零件 精密加工 力学性能 磨削工艺
  • 简介:TN2132005042956恒定辐照下一维HgCdTe环孔PN结光生载流子浓度的计算=Calculationofphotocarrierconcentrationofa1-DloopholeHgCdTePNjunctionundersteady-stateincidence[刊,中]/王忆锋(昆明物理研究所,云南,昆明(650223)),蔡毅//红外技术,-2004,26(6),-41-44,47通过求解一维HgCdTe环孔PN结连续性方程,得到了恒定辐照下光生载流子浓度的一般表达式,并对结果进行了分析讨论。图1参9(严寒)

  • 标签: 红外技术 毫米波 红外热诊断 红外热像仪 红外探测器 红外焦平面阵列
  • 简介:跟踪系统采用光电经纬仪工作模式,采用Kalman预测滤波技术对计算机接受到的传感器数据(包括电机编码器反馈信号、电视脱靶量信号)进行滤波预测,提供准确的位置、速度信息,进行有效预测外推,可以有效提高跟踪系统对机动目标的跟踪性能,实现对目标的稳定跟踪。

  • 标签: KALMAN滤波 预测技术 跟踪系统 控制技术 应用 反馈信号
  • 简介:TB853.196031855镜头快门及其技术发展=Thelensshutteranditstechnicaldevelopment[刊,中]/范建伟(国营华东光学仪器厂.浙江,嘉兴(314001))//光学仪器.-1995,17(4/5).-75根据不同时期镜头快门曝光控制方式,动力源的

  • 标签: 镜头快门 光子学 光学仪器 控制方式 射线系统 条纹相机
  • 简介:扫描光刻技术是目前实现大口径压缩光栅等位相元件制作的一种有效方案,该技术考虑到大尺寸加工的困难,采用先小尺寸加工,然后连续扫描扩大加工区域的方法,既能保证大尺寸加工和较高精度,又能降低设备制作成本和难度,具有明显的优越性。扫描光刻技术中需要发展超精密检测和超精密定位装置以保证移动光刻过程能够得到精密的控制,特别是10^-6级的相对精度的控制。图1显示了XY超精密平台的测量定位系统。

  • 标签: 光刻技术 连续扫描 加工区域 制作成本 定位装置 精密检测
  • 简介:TB853.2199042625空间相机光学窗口的热光学评价=Thermal—opticalevaluationtoopticalwindowsofspacecam-era[刊,中]/赵立新(中科院空间科学与应用总体部.北京(100080))//光学学报.—1998,18(10).—1440—1444结合工程实际,以光学波像差的基本理论为基础对空间相机光学窗口的非轴对称温度场进行了热光学评价,编程计算了空间相机光学窗口在一个轨道周期内各典型位置处的均方根波像差,并把计算结果与美国"天空实验室"光学窗口的相应数据进行比较,以验证热光学分析的合理性、正确性。图2表2参3(严寒)TB87299042626光学相干层析成像技术的应用=Applicationofopticalcoherencetomography[刊,中]/胡晓云,刘琳,陆治国(西北大学物理系.陕西,西安(710069))//激光技术.—1998,22(6).—339—342介绍了光学相干层析成像技术在不同领域的应用,预言了未来的发展趋势。图2参13(赵桂云)TB87999042627时间分辨投影成像术的成像分辩率的理论研究=Imagingresolutionoftimeresolvedtomographyintissues[刊,中]/陈敏,陈建文,徐至展(中科院上海光机所.上海(201800))//光学学报.—1998,18(10).—1390—1394从漫射近似理论出发,详细讨论了漫射投影系统的透射光斑的点扩散函数与时间门的时间分辩率、探测器的有限大小、生物组织的厚度以及积分时间的关系。图5参14(严寒)

  • 标签: 光学窗口 空间相机 层析成像技术 波像差 热光学 光学相干
  • 简介:TH949.296031901形心测量跟踪电视系统=CentroidmeasurementandtrackingTVsystem[刊,中]/于前洋,黄廉卿,刘洵,张渤琳,刘丽琴(中科院长春光机所.吉林,长春(130022))//光学精密工程.-1995,3(5).-38-43论述了形心测量跟踪电视系统的构成、工作原理、关键技术及实用结果。图4表2参3(任延同)TN141.3396031902谈谈黑白显像管的光栅暗角=SuperficialviewonthegratingdarkcornerofB/Wpicturetubes[刊,中]/李臻峰(华东电子管厂.江苏,南京(210028))//光电技术.-1995,36(3).-48-51

  • 标签: 跟踪电视系统 工作原理 精密工程 形心测量 伪彩色处理 关键技术
  • 简介:O441.42005042976太赫兹(THz)成像的进展概况=ReviewoftheprogressofT-rayimaging[刊,中]/张蕾(首都师范大学物理系,北京(100037)),徐新龙…//量子电子学报,-2005,22(2),-129-134评述了太赫兹射线成像的进展情况。太赫兹(THz)辐射介于微波和红外之间。与微波、X射线、核磁共振(NMR)成像相比,太赫兹成像不仅能给出物体的密度信息,而且能给出频率域的信息,以及在光频、微波和X射线范围内所不能给出的材料的转动、振动信息。太赫兹射线与其他频段的电磁波相比,它能量低,不会造成对生物样

  • 标签: 太赫兹 光电子技术 探测技术 点扩展函数 成像系统 实验验证