简介:摘要:近年来,随着工业领域如微型机械制造、集成电路制造、生物医疗等众多领域的不断发展,与之相关的设备对精度的要求也越来越高。而被誉为半导体工业皇冠上明珠的光刻机,集合了高分子物理与化学、表面物理与化学、精密仪器、自动化、图像识别等多项顶尖技术,是超精密加工技术的集大成机器。其中,运动台系统用于定位晶圆做精细运动,主要包括搬移、掩膜、对位、焦距校准等,是光刻机最为核心的分系统之一。在光刻过程中,要求扫描和定位精度要达到纳米级,则需要同时追求运动指标和精度指标。因此,本论文针对光刻机运动台系统,从复合控制、同步控制以及主动减振控制三个角度进行控制方法的研究,以提升光刻机的曝光质量和产率。
简介:摘要:本论文探讨了机械振动控制技术在精密加工领域的应用。精密加工过程中,振动是一个常见但令人头痛的问题,它可能导致工件表面质量下降和工具磨损增加。因此,采用机械振动控制技术对振动进行有效控制对于提高精密加工的质量和效率至关重要。本文介绍了不同类型的振动控制技术,包括有源振动控制和被动振动控制,并讨论了它们的原理和应用。
简介:摘要:随着科技的不断进步和工业制造技术的飞速发展,精密制造领域对制造精度和效率的要求日益提高。机自动控制技术作为现代工业制造的核心技术之一,其在精密制造领域的应用研究显得尤为重要。本文首先介绍了机自动控制技术的基本原理和特点,然后详细分析了机自动控制技术在精密制造领域的应用现状,包括在数控机床、精密测量、智能生产线等方面的应用。接着,通过具体案例探讨了机自动控制技术在提高制造精度、降低生产成本、提升生产效率等方面的作用。最后,本文总结了机自动控制技术在精密制造领域的应用前景和挑战,并提出了相应的建议和展望。