简介:1前言近年来,超LSI开发进展十分惊人.虽然代表0.5μm时代器件的16MDRAM,由于受到当时半导体业不景气的影响而其开发比当初预测要迟些,但其批量生产逐渐达到稳定化.同时,下一代器件--64MDRAM和256MDRAM的研究开发依然如预测的进度进行着,现状是:丝毫未感到开发进度在放缓.
简介: 1前言 1994年开始大批量生产16MDRAM,作为研究开发阶段也是从以64MDRAM为代表的0.4μm器件过渡到以256MDRAM为代表的0.25μm器件. ……
简介:从亚微米进人到1/4μm时代,VLSI工艺中的平坦化技术与其它的微细加工技术一起被广泛采用.
简介:1超微细MOS中的离子注入对于离子注入技术,可以说从浅结注入开始大约已有10年的研究历史,有关该技术的研究结果已有一些已经发表,诸如,预非晶化和低能量注入以及灯退火(RTA).
简介: 1前言 关于LSI的高密度化,现以DRAM为例来说,则是从16M开始至64M出厂样品.对于逻辑电路来说,0.5μm级的产品化正在开始. ……
简介: 1前言 对于MOS晶体管的栅氧化膜来说,按照高集成化、高性能化的比例要求,在采用0.35μm工艺技术的64MDRAM中,要求薄膜减薄到10nm,而在0.25μm的256MDRAM中则要减薄到8nm.对于高性能CMOS逻辑电路来说,在薄膜化方面的要求比DRAM还要早一个时代,对于0.25μm工艺来说,则要求使用6nm这样极薄的氧化膜. ……
简介: 1前言 所谓0.4~0.5μm时代,就DRAM而言,恰处于从64M到256M的过渡阶段.长期以来,DRAM被誉为半导体技术的"技术驱动器". ……
简介:据外电报道,全球第一个公路WiFi无线移动语音与高速数据网络在美国亚利桑那州的一条州际公路上的试验取得成功。
简介:摘要牛奶含有丰富的营养,但牛奶掺假时有发生。因牛奶掺假方法的多样性,所以我们应研究出对应的方法来把控牛奶的质量。对牛奶掺水问题,可采用比重瓶法、表面张力法、超声波法测牛奶的浓度。对牛奶掺杂淀粉问题,可以采用淀粉遇碘变蓝的原理准确测量。
0.4~0.25μm时代光刻技术
0.4~0.25μm时代的腐蚀技术
0.4~0.25μm时代的平坦化技术
0.4~0.25μm时代的离子注入技术
0.4~0.25μm时代的电极布线形成技术
0.4~0.25μm时代的栅氧化膜形成技术
0.4~0.25μm时代的半导体工艺技术
美国实现时速130公里公路上WiFi无线语音IP
克拉玛依市出售的鲜牛奶质量(掺水、淀粉)的检测