0.4~0.25μm时代的腐蚀技术

(整期优先)网络出版时间:2002-05-15
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  1前言  1994年开始大批量生产16MDRAM,作为研究开发阶段也是从以64MDRAM为代表的0.4μm器件过渡到以256MDRAM为代表的0.25μm器件.  ……