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《电子与封装》
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2002年5期
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0.4~0.25μm时代的腐蚀技术
0.4~0.25μm时代的腐蚀技术
(整期优先)网络出版时间:2002-05-15
作者:
电子电信
>物理电子学
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资料简介
1前言 1994年开始大批量生产16MDRAM,作为研究开发阶段也是从以64MDRAM为代表的0.4μm器件过渡到以256MDRAM为代表的0.25μm器件. ……
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1前言 1994年开始大批量生产16MDRAM,作为研究开发阶段也是从以64MDRAM为代表的0.4μm器件过渡到以256MDRAM为代表的0.25μm器件. ……
来源期刊
电子与封装
2002年5期
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