简介:研究表明含氟气体的性质决定了原子氟(F)的转化效率,通常在CxFy气体中x的值越大,氟(F)的转化效率也就会越高。所以C3F8(八氟丙烷)比C2F6(乙氟烷)具有更高的利用效率,更少的PFC(全氟化物)的排放。文章主要研究在以四乙氧基硅烷(TOES)为基础的离子增强化学气相沉积(PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition,PECVD)的清洗制程中,利用分解效率高的C3F8气体取代C2F6气体。通过实验设计(DesignOfExperiment,DOE),调整腔体压力、射频(RF)功率、气体流量等参数,最终得到最优化的新清洗配方。应用到实际的量产中,有效地降低了成本,减少了PFC的排放。
简介:摘要:本文针对学生不易掌握导数含参数问题中参数该如何分类的问题,通过对几个典型问题的探究,结合流程图来对参数的分类方法和含参数问题的求解步骤来进行总结,形成解决此类问题的模式化解题方法。用流程图来体现参数的分类方法,直观明了,易理解,将解题思想流程化,易操作。
简介:摘要:目的:甲状腺结节分类诊断过程中采用TI-RADS分类法,观察该种分类方法的应用效果。方法:将我科2018年1月--2020年10月的甲状腺结节297例患者353个结节作为观察对象,并且根据分类方法不同,将患者分成一组和二组,一组使用TI-RADS分类法,二组使用ATA标准分类。结果:(1)本次总共选择353个甲状腺结节作为研究对象,其中良性结节210个,占比59.49%;恶性结节143个,占比40.50%。(2)一组和二组甲状腺结节分类后从NPV、PPV、敏感性、特异性、准确性对照中,一组分别是94.33%、76.20%、88.66%、84.13%、89.23%,二组分别是85.26%、69.68%、77.33%、71.10%、81.01%。(x2=10.021,p=0.000),结果有差异。结论:甲状腺结节诊断过程中采用TI-RADS分类法价值较高,该种方法值得在临床上推广。
简介:福特设计团队结合了世界陆空最高性能机器的长处,打造了一款基于美国空军LockheedMartinF-22Raptor战斗机的卡车,并在2017年美国EAA航空盛会(ExperimentalAircraftAssociationAirVenture)展出且拍卖.这款只此一辆的皮卡概念车为EAAGatheringofEagles的YoungEagles培训计划筹集了30万美金,该计划致力于鼓励年轻人投入飞行事业.
简介:摘要目的探讨彩色多普勒超声对小儿粪石性阑尾炎的诊断价值。方法对经手术病理证实的232例小儿粪石性阑尾炎进行彩色多普勒超声分析。结果232例小儿粪石性阑尾炎的彩色多普勒超声所提示的粪石数目、大小与手术病理结果基本相同。结论超声可以作为小儿粪石性阑尾炎的术前诊断依据,能明确阑尾炎是否伴有粪石形成,明确粪石的数目及大小,具有很高的诊断价值。
简介:《国务院关于修改〈中华人民共和国资源税暂行条例〉的决定》已经2011年9月21日国务院第173次常务会议通过,现予公布,自20H年11月1日起施行。