简介:针对"FBAR(薄膜体声波谐振器)-梁"结构悬臂梁厚度不足、"嵌入式FBAR"结构微加工工艺复杂的缺点,提出了新型"膜片上FBAR(FBAR-on-diaphragm)"结构的微加速度计。其弹性膜片由氧化硅/氮化硅复合薄膜构成,既便于实现与硅微检测质量和FBAR的IC兼容集成加工,也利于改善微加速度计的灵敏度和温度稳定性。对由氧化硅/氮化硅双层复合膜片-硅检测质量惯性力敏结构和氮化铝FBAR检测元件集成的膜片上FBAR型微加速度计进行了初步的性能分析,验证了该结构的可行性。通过有限元模态分析和静力学仿真得出惯性加速度作用下膜片上FBAR结构的固有频率和弹性膜片上的应力分布;选取计算所得的最大应力作为FBAR中压电薄膜的应力载荷,结合依据第一性原理计算得到的纤锌矿氮化铝的弹性系数-应力关系,粗略估计了惯性加速度作用下氮化铝薄膜弹性系数的最大变化量;采用射频仿真软件,通过改变惯性加速度作用下弹性常数所对应的纵波声速,对比空载和不同惯性加速度作用下加速度计的谐振频率,得到加速度计的频率偏移特性和灵敏度。进一步分析仿真结果还发现:氧化硅/氮化硅膜片的一阶固有频率与高阶频率相隔较远,交叉耦合小;惯性加速度作用下,谐振频率向高频偏移,灵敏度约为数kHz/g,其加速度-谐振频率偏移特性曲线具有良好的线性。
简介:针对传统压电型声矢量传感器无法兼顾小体积与高灵敏度的问题,利用MEMS电容加速度计作为拾振器,实现矢量传感器的小型化设计。首先采用机电类比分析的方法得到内置加速度计的刚硬球体的声致振动响应;然后进行硅微电容加速度计选型和参数分析、设定,并设计制作了一只二维球形矢量传感器样机;最后对样机进行了参数测试,结果表明两矢量通道均具有良好的方向性,声压灵敏度分别为?185dB和-186dB(1kHz,0dBref1V/μPa),通道间相位差与理论值保持一致,验证了利用MEMS电容加速度计设计矢量传感器的可行性。
简介:摘要目的探讨创伤胫骨骨折实施锁定加压钢板内固定治疗的临床效果。方法选取本院2014年12月~2015年6月收治的创伤胫骨骨折患者67例,根据术式分为两组,33例患者采用三叶草型钢板内固定治疗,设为对照组,34例患者采用锁定加压钢板内固定治疗,为观察组,比较两组患者的临床指征、临床疗效、并发症情况。结果观察组术中出血量(183.7±41.6)mL、手术时间(61.8±11.3)min、术后住院时间(18.7±3.9)d、骨折愈合时间(7.8±2.6)周、术后并发症发生率5.9%均明显小于对照组(239.4±50.1)mL、(82.5±14.7)min、(22.4±5.3)d、(10.2±3.1)周、24.2%,观察组总体优良率(97.1%)明显高于对照组(81.8%),差异均有统计学意义(P<0.05)。结论锁定加压钢板内固定是治疗创伤骨折的有效方法,可显著改善患者病症,缩短治疗时间,且并发症较少,值得临床推广使用。
简介:摘要目的探析锁定钢板治疗骨折并发症与防治措施。方法抽选我院2013年1月至2015年6月收治的400例使用锁定钢板治疗的骨折患者,其中80例患者出现并发症,回顾性分析患者临床资料。结果80例患者中,11例膝外畸形患者,占13.75%,9例钢板突出导致疼痛的患者,占11.25%,34例不愈合或者是骨折延期愈合患者,占42.5%,26例内固定无效患者,占32.5%。结论骨折患者使用锁定钢板进行治疗时,受到多种因素的影响,患者的并发症发生率较高,因此医务人员需严格按照规定要求操作,提高骨折固定的稳定性,避免过早负重,以保证患者骨折的愈合,减少并发症的发生。