简介:摘 要:本文拟从反应气体流量、射频电源的功率、产品表面温度和产品与喷头之间的距离四个方面单因素探索每个工艺条件对产品钝化膜层质量所产生的影响,从中得出每个因素单方面最适宜生产产品的工艺参数。然后再通过正交实验,设计 4因素 5水平试样,将各个工艺参数的影响综合进行比较,从中得出最适合生产的工艺参数。在 650V高压 VDMOS功率器件的表面制备 4KÅ氮化硅钝化膜的最佳工艺参数组合为:反应气体流量比例为 38:14,射频功率为 350W,硅片表面的温度为 390℃,硅片与喷头的距离为 340mils。经过试验得出结论,供 VDMOS半导体技术工作者参考。
简介:摘要:氮化硅具有良好的介电特性(介电常数低、损耗低)、高绝缘性,高致密性的氮化硅对杂质离子有很好的阻挡能力。PECVD法工艺复杂,沉积过程的控制因素较多,沉积条件对介质薄膜的结构与性能有直接的影响,氧化硅薄膜通常采用PVD和CVD技术来制备。目前,在PECVD系统中,通过反应,获得了氧化硅薄膜。薄膜的沉积是在具有等离子体热系统中进行的,液体源经固定温度加热后,通过管道系统进入沉积室。该方法具有设备简单,衬底与薄膜结合性好,成膜的均匀性和重复性好等特点。同时,较低的沉积温度有利于实现更小的畸变、更佳的共形沉积和更快的沉积速率。PECVD 制备的氮化硅薄膜具有强度高、硬度高、介电常数大、折射率可调、透射率高、光衰减系数小和化学稳定性好等特点广泛应用。
简介:本文介绍Si3N4(代替部分金刚石浓度)配合铁基(以Fe代Co)结合剂氮化金刚石薄膜涂层节块,可大大降低成本,该节块性能良好,有较高使用效果及经济效益。
简介:摘要:Ti45Nb合金因其具有密度低、杨氏模量低、强度高和优异的耐腐蚀性能和抗自燃特性成为骨科植入物和航空紧固件用的理想材料。但因其组元Ti和Nb的熔点和密度差异大,采用传统VAR直接熔炼的方式易造成严重的Nb元素偏析。
简介:生长了一种新配比的铒掺杂铌铟酸铅-铌镁酸铅-钛酸铅单晶(25PIN-44PMN-31PT-0.02Er2O3),并对晶体做了完整的冷加工和极化,得到了沿〈001〉方向极化的晶体样品.在室温下利用椭圆偏振仪测量了晶体的折射率谱,通过最小二乘法拟合得到了晶体的赛尔迈耶尔方程各参数.其中Eo=5.471eV;Ed=22.56eV;k=227nm;So=0.8002×10^14m-2.利用紫外-可见-红外分光光度计获得了晶体透射率谱,晶体紫外吸收边为400nm.同时通过计算得到了样品的禁带宽度为2.94eV.