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  • 简介:摘 要:本文拟从反应气体流量、射频电源的功率、产品表面温度和产品与喷头之间的距离四个方面单因素探索每个工艺条件对产品钝化膜层质量所产生的影响,从中得出每个因素单方面最适宜生产产品的工艺参数。然后再通过正交实验,设计 4因素 5水平试样,将各个工艺参数的影响综合进行比较,从中得出最适合生产的工艺参数。在 650V高压 VDMOS功率器件的表面制备 4KÅ氮化硅钝化膜的最佳工艺参数组合为:反应气体流量比例为 38:14,射频功率为 350W,硅片表面的温度为 390℃,硅片与喷头的距离为 340mils。经过试验得出结论,供 VDMOS半导体技术工作者参考。

  • 标签: 半导体 VDMOS功率器件 钝化膜层 正交试验
  • 简介:文章讨论了几种薄膜残余应力测试方法的优缺点,介绍了氮化薄膜应力沿层深分布趋势的最新研究,偏压和N2分压工艺对薄膜应力的影响及几种调节薄膜残余应力的有效方法.脉冲偏压增大,薄膜残余应力显著增加:N2分压增大,薄膜残余应力显著增加.采用独立变化脉冲偏压或变化N2分压工艺制备的薄膜,其残余应力沿层深分布趋势明显均匀,薄膜残余应力可得到有效调整.

  • 标签: 残余应力 应力分布 氮化物硬质薄膜
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  • 简介:摘要:氮化硅具有良好的介电特性(介电常数低、损耗低)、高绝缘性,高致密性的氮化硅对杂质离子有很好的阻挡能力。PECVD法工艺复杂,沉积过程的控制因素较多,沉积条件对介质薄膜的结构与性能有直接的影响,氧化硅薄膜通常采用PVD和CVD技术来制备。目前,在PECVD系统中,通过反应,获得了氧化硅薄膜薄膜的沉积是在具有等离子体热系统中进行的,液体源经固定温度加热后,通过管道系统进入沉积室。该方法具有设备简单,衬底与薄膜结合性好,成膜的均匀性和重复性好等特点。同时,较低的沉积温度有利于实现更小的畸变、更佳的共形沉积和更快的沉积速率。PECVD 制备的氮化薄膜具有强度高、硬度高、介电常数大、折射率可调、透射率高、光衰减系数小和化学稳定性好等特点广泛应用。

  • 标签: PECVD 氮化硅 薄膜  
  • 简介:为选出合适的辅助离子源进行沉积制备c-BN薄膜,通过对高能和低能辅助镀膜离子源的重要性能进行比较研究之后,在单晶Si基体进行应用制备立方氮化薄膜,用红外光谱(FTIR)及光电子能谱(XPS)分析技术,对不同辅助离子源制备沉积的薄膜,进行比较表征,得出结论:低能辅助镀膜离子源,比高能辅助镀膜离子源更适用于制备立方氮化薄膜.

  • 标签: 离子源 离子束辅助沉积 立方氮化硼薄膜
  • 简介:文章建立了重量法测定草酸量的方法。通过采用正交试验优化了测定的工艺参数,将草酸灼烧成五氧化二,通过质量的减少测定草酸量。该方法的相对标准偏差小于0.4%,通过与不同方法的结果对照,方法的准确度和精密度良好,操作简便快速,易于掌握,完全能够满足生产工艺的需要。

  • 标签: 草酸铌 重量法 正交试验 五氧化二铌
  • 简介:以V2O5为原料,采用碳热还原法制备氮化钒,通过扫描电镜(SEM)和X射线衍射(XRD)观察与分析还原氮化产物的形貌与组成,分析产物的碳、氮、氧含量,研究原料配碳量、氮化温度和氮化时间等对还原氮化产物的影响。结果表明:还原氮化产物为碳氮化钒的固溶体。原料配碳量是影响反应产物中氮含量的关键因素,配碳比(质量分数)约为21%时还原氮化产物具有最高的氮含量14.76%;氮化温度应控制在1400~1420℃范围内,氮化时间达到4h即可实现氮化完全。

  • 标签: 五氧化二钒 氮化钒 碳热还原 氮化
  • 简介:<正>日前,VishayIntertechnology,Inc.宣布,推出新系列高功率表面贴装的精密薄膜片式电阻-PCAN系列器件。该系列器件采用氮化铝基板,功率等级为2W~6W,分别采用1206和2512小外形尺寸。今天发布的VishayDale薄膜电阻的氮化铝基板采用更大的背面端接,减少了上侧电阻层与最终用户的电路组装上焊点之间的热阻。这样,器件可处理

  • 标签: 铝基板 表面贴装 VISHAY 电阻层 薄膜电阻 最终用户
  • 简介:摘要:Ti45Nb合金因其具有密度低、杨氏模量低、强度高和优异的耐腐蚀性能和抗自燃特性成为骨科植入物和航空紧固件用的理想材料。但因其组元Ti和Nb的熔点和密度差异大,采用传统VAR直接熔炼的方式易造成严重的Nb元素偏析。

  • 标签: Ti45Nb合金  Ti50Nb中间合金 成分均匀性
  • 简介:生长了一种新配比的铒掺杂铟酸铅-镁酸铅-钛酸铅单晶(25PIN-44PMN-31PT-0.02Er2O3),并对晶体做了完整的冷加工和极化,得到了沿〈001〉方向极化的晶体样品.在室温下利用椭圆偏振仪测量了晶体的折射率谱,通过最小二乘法拟合得到了晶体的赛尔迈耶尔方程各参数.其中Eo=5.471eV;Ed=22.56eV;k=227nm;So=0.8002×10^14m-2.利用紫外-可见-红外分光光度计获得了晶体透射率谱,晶体紫外吸收边为400nm.同时通过计算得到了样品的禁带宽度为2.94eV.

  • 标签: 铒掺杂铌铟镁酸铅-钛酸铅晶体 折射率 塞尔迈耶尔光学系数 禁带宽度
  • 简介:通过对我国钽工业现状及参与国际竞争的优劣势分析,针对加入WTO对于我国钽工业的主要影响,提出了我国钽工业的发展对策,旨在促成我国钽工业在激烈的国际竞争中得到长远发展.

  • 标签: 钽铌工业 WTO 中国 对策