简介:摘要:相对于企业来讲,特别是对于半导体制造企业来讲,其主要特点就是连续化以及高速化和自动化的生产活动,在这当中为了保证相关生产活动实现全面以及顺利和持续运行,就需要使得企业当中的相关生产设备正常运行。在这当中监理设备维修和管理模式,采用计算机和信息技术对相关设备数据进行采集和分析以及判断,在此基础上,建立适合企业应用的智能化设备管理系统有着很重要的作用。本文就针对半导体测试设备管理系统的设计与实现进行分析和探讨。
简介:相对于企业来讲,特别是对于半导体制造企业来讲,其主要特点就是连续化以及高速化和自动化的生产活动,在这当中为了保证相关生产活动实现全面以及顺利和持续运行,就需要使得企业当中的相关生产设备正常运行。在这当中监理设备维修和管理模式,采用计算机和信息技术对相关设备数据进行采集和分析以及判断,在此基础上,建立适合企业应用的智能化设备管理系统有着很重要的作用。本文就针对半导体测试设备管理系统的设计与实现进行分析和探讨。
简介:摘要:现如今,随着我国经济的加快发展,半导体设备工艺配方(以下简称配方),作为一种文件或者程序,储存在设备系统之中,可提供一种灵活的、可操作的和可重复利用的形式,可以供用户设置或者选择工艺顺序,以实现半导体器件的生产,也可以存储设备的辅助工艺,在设备维护、校准、清洗等过程中进行使用。生产设备可以使用一种或多种配方,来满足生产需求。配方可以在同类设备中复制使用,用户也可以在设备端进行编辑,这就为配方的管理提出了挑战。使用错误的配方或者配方设置不当会导致生产的成品率降低,甚至会危害设备或者用户的安全。因此,需要对设备端的配方进行严格管理。在早期的生产过程中,设备的自动化程度较低,主要靠人工来维护设备端的配方。随着工艺制程的不断发展,对设备的自动化程度要求越来越高,设备的配方内容也趋向于更加复杂。早期人工管理配方的方式已经不能满足生产线的需求,推动了主机端配方管理系统的面世。配方管理系统,作为自动化系统的子系统,通过半导体设备标准通信协议,可以控制设备端配方的上传、下载和修改。主机端获取设备端的配方后,可以对配方进行比对,以判断是否被修改或者是否满足当前产品的加工需求;同时也对设备端的配方管理程序提出了更高的要求。主机端与设备端需进行良好而正确地配方交互,才能实现配方管理系统的正常运行。
简介:摘要:现如今,随着我国经济的加快发展,半导体设备工艺配方(以下简称配方),作为一种文件或者程序,储存在设备系统之中,可提供一种灵活的、可操作的和可重复利用的形式,可以供用户设置或者选择工艺顺序,以实现半导体器件的生产,也可以存储设备的辅助工艺,在设备维护、校准、清洗等过程中进行使用。生产设备可以使用一种或多种配方,来满足生产需求。配方可以在同类设备中复制使用,用户也可以在设备端进行编辑,这就为配方的管理提出了挑战。使用错误的配方或者配方设置不当会导致生产的成品率降低,甚至会危害设备或者用户的安全。因此,需要对设备端的配方进行严格管理。在早期的生产过程中,设备的自动化程度较低,主要靠人工来维护设备端的配方。随着工艺制程的不断发展,对设备的自动化程度要求越来越高,设备的配方内容也趋向于更加复杂。早期人工管理配方的方式已经不能满足生产线的需求,推动了主机端配方管理系统的面世。配方管理系统,作为自动化系统的子系统,通过半导体设备标准通信协议,可以控制设备端配方的上传、下载和修改。主机端获取设备端的配方后,可以对配方进行比对,以判断是否被修改或者是否满足当前产品的加工需求;同时也对设备端的配方管理程序提出了更高的要求。主机端与设备端需进行良好而正确地配方交互,才能实现配方管理系统的正常运行。