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同步辐射束
线上
的PSS性能研究
作者:
胡朝晖;刘世杰;等
学科:
核科学技术
>
核技术及应用
创建时间:2000-01-11
出处:
《同步辐射装置用户科技论文集》
2000年第1期
简介:
标签:
同步辐射
PSS
性能
位置灵敏谱仪
同步光微束
能量分辨率
全文阅读
同步束
线上
PSS探测限及其应用研究
作者:
胡朝晖;刘士杰;等
学科:
核科学技术
>
核技术及应用
创建时间:2000-01-11
出处:
《北京同步辐射装置年报》
2000年第1期
简介:
标签:
同步束线
PSS
探测限
应用
平面晶体波长色散位置灵敏谱仪
分辨率
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在3W1束
线上
进行X光深层光刻工艺研究
作者:
陈迪;李晶敏;等
学科:
核科学技术
>
核技术及应用
创建时间:1998-01-11
出处:
《北京同步辐射装置年报》
1998年第1期
简介:
标签:
3W1束线
X光深层光刻工艺
集成电路
同步辐射
制造工艺
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同步辐射束
线上
的PSS性能研究
同步辐射束
线上
的PSS性能研究
同步束
线上
PSS探测限及其应用研究
同步束
线上
PSS探测限及其应用研究
在3W1束
线上
进行X光深层光刻工艺研究
在3W1束
线上
进行X光深层光刻工艺研究
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