简介:摘要IGSS是衡量VDMOS器件性能的一个重要参数,在生产过程中,有很多因素会影响IGSS。文中从VDMOS器件结构及工艺入手,通过电学性能测试分析及FA失效分析对一种特定区域的IGSS失效问题进行研究,发现是多晶刻蚀残留导致IGSS失效,并分析了多晶残留的原因,最终通过加入SF6,调整多晶刻蚀菜单解决了IGSS失效。
简介:摘要水利工程的安全性与持久性与人民的生命财产安全息息相关。本文分析了当前水利工程施工中存在的安全性和耐久性问题,并给出了相应的解决措施,希望能够促进我国水利工程施工技术水平的提高。