简介:在半导体制造工业中,参数测试作为有效的对在线制品的监控手段,一方面反映了工艺线的工艺水平状况,另一方面它也是制造公司与设计公司之间进行沟通的主要依据。而对于新工艺研发来说,参数测量及分析更是整个研发过程中极其重要的一部分,及时准确的参数测量结果是产品工程师快速作出工艺研发方向的判断依据。因此,芯片参数测量分析的主要作用在于:在工业生产中得到大量的测量数据,用于评价工艺设备、半导体材料和电路结构,监视和控制工艺和器件参数的均匀性、重复性、协调性,分析工艺中存在的缺陷,诊断电路性能失常规律,预测成品率,预报可靠性信息等等。文章主要介绍了运用参数测试对在线工艺异常进行可靠性评估的方法。
简介:装备管理工作在军事装备工作中占有重要的地位,工作内容多且比较复杂,其绩效难V'R用一个简单的数值来表示。根据对空情报雷达(雷达)装备日常管理的特点,结合数据包络分析(DEA)方法的要求,建立了雷达装备管理绩效评估指标体系。针对传统DEA评估方法的缺陷,将标杆管理思想和主成分分析法引入评估模型,该模型可以在提高决策单元有效性的前提下,避免传统绩效评价易出现多个决策单元同时有效的情况,为雷达装备日常管理的科学决策提供定量依据。