简介:光刻空间像仿真作为各种计算光刻技术的基础,受到越来越多的重视。提出一种基于互强度傅里叶分析的光刻机投影成像快速模拟方法,从光刻成像互强度传播过程入手,基于傅里叶光学原理对成像要素进行多次空域-频域变换,得到一种快捷的空间像模拟途径。通过与标准解析空间像对比,发现该方法的计算精度可达10-4(最大光强归一化)。该方法避免了部分相干成像的Hopkins方程中繁琐的积分运算,操作性强、计算精度高。该方法适用于各种灵活多变的曝光成像条件,具备广阔的工程应用前景。
简介:无拘无束的“撤欢”,不紧不慢的“歌唱”,当航天重型工程装备有限公司(简称航天重工)自主研发的国内首台防爆电动无轨胶轮运输车从地层深处“钻”出地面时,立即在神华集团神东煤炭集团大柳塔煤矿引起一片轰动,神东煤炭集团董事长、党委副书记张子飞也专程前往观看,并指示矿区“全力配合试验”。
简介:我希望设计能给人带来信心.把中国元素带进来,因为我们希望在国际舞台上,跟国际其它品牌去竞争。这辆车就是从中国来的,这是中国人自己设计制造的车。
基于互强度傅里叶分析的光刻机成像模拟方法
煤层里飞出欢乐的歌——航天重工研制生产的国内首台防爆电动无轨胶轮运输车矿区试验记
一个天人合一的博瑞——访吉利控股集团造型设计高级副总裁彼得·霍布里(Peter Horbury)