简介:摘要:单晶硅应用广泛,应用的领域均涉及微小机构,这使得单晶硅的微细加工至关重要。目前,有众多对单晶硅微细磨削的研究,但缺少对单晶硅微细铣削方面的研究。因此本文基于切削三要素:主轴转速n、每齿进给量fz和切削深度ap,沿着单晶硅(100)的[100]方向加工,采用三因素四水平的正交试验,通过观察加工后单晶硅表面形貌和比较表面粗糙度数值,来研究单晶硅微细铣削表面质量,从而优化微细铣削工艺参数。实验表明:微铣刀的磨损和振动对单晶硅加工形貌影响严重,在实验所取的参数范围内,当fz=0.1(um/z)、n=10000(r/min)、ap=10(um)时,表面粗糙度数值最小,即表面质量最优。
简介:
简介:摘要:现阶段,随着社会的发展,我国的电力行业的发展也越来越迅速。开关柜是电力系统中广泛应用的电气设备,开关柜安全稳定工作是保障线路投切运行、可靠供电的前提.在长期带负荷运行条件下,开关柜内部的开合结构会出现氧化磨损,导致断路器触头老化和母线接头松动,引起接触电阻增大,尤其是当开关柜运行的大电流作用在这些节点时,会引起设备温度超标,甚至烧毁开关柜.因此,对高压开关柜中关键节点进行温度监测,对整个电力系统的安全运行具有非常重要的意义.目前,国内外在开关柜测温领域较为常用的方法有红外测温、光纤测温、无线有源测温和声表面波测温.红外测温是目前国家电网公司最普遍的测温方法,需要运行作业人员手持红外测温设备测量,测量精度不高,被遮挡部分可能无法直接测量关键点的温度,不具有在线监测功能 ;光纤测温设备造价高,易折损,不耐高温,安装还需增加布线 ;无线有源测温方法需要对无线传感器用干电池或者 CT进行供能,而干电池寿命有限,需要定期更换。声表面波 SAW(surfaceacousticwave)测温法是一种无需电池供电亦无需感应取电的完全被动式的测温方式,具有安装调试方便、不受电弧或闪络问题影响、无需更换或维护供电电源、耐高温、抗污能力强等优点。开关柜内部结构复杂,而且其工作环境受强磁、强电干扰严重,开关柜的温度监测面临监测节点众多、电磁干扰严重、布线困难、工作环境温度较高等难题.鉴于此,本文拟研究开发一套基于 SAW测温原理的开关柜温度在线监测系统 :通过改进与传感器相匹配的收发天线的形状和类型,提高系统的抗干扰能力,实现无需布线即可同时监测多个节点温度的目的.