简介:摘要针对餐饮领域餐具所携带的低品位余热的耗散情况,设计了多功能余热回收隔热垫。利用半导体温差发电,对余热进行回收利用转化成电能,利用蓄电池储存电能,从而进行下一步电能的利用。多功能余热回收隔热垫的研发会在很大程度上节约了资源的使用,减少了资源的浪费,推动社会的可持续发展。本文针对多功能余热回收隔热垫的工作原理和优点进行分析,并进行设计优化和可行性的讨论,以期对多功能余热回收隔热垫的研发提供一定的帮助。
简介:在研发一套基于0.18μm工艺的全新半导体芯片时,由于芯片工艺的要求我们将标准0.18μm工艺流程中的接触孔蚀刻阻挡层由原来的UVSIN+SION改为SIN,但却引进了PID(等离子体损伤)的问题。当芯片的关键尺寸减小到0.18μm时,栅氧化层变得更薄,对等离子体的损伤也变得更加敏感。所以如何改善PID也成为这款芯片能否成功量产的重要攻坚对象。这一失效来源于接触孔阻挡层的改变,于是将改善PID的重点放在接触孔蚀刻阻挡层之后即后段工艺上。后段的通孔蚀刻及钝化层的高密度等离子体淀积会产生较严重的等离子体损伤,因此如何改善这两步工艺以减少等离子体损伤便成为重中之重。文中通过实验验证了关闭通孔过蚀刻中的磁场以及减小钝化层的高密度等离子体淀积中的溅射刻蚀功率可以有效改善芯片的等离子体损伤。通过这两处的工艺优化,使得PID处于可控范围内,保证了量产的芯片质量。
简介:烟台海德清洁机械有限公司(烟台海德专用汽车厂)YHD5100TSS多功能养护车是利用德国技术最新开发的一种综合多功能养护车辆,主要用于城市道路洒水、清洗、冲刷道路护栏、园林绿化带喷洒浇水,兼有路边树木喷药及城市下水道疏通、吸污,应急消除等多种功功能。