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Analysis of a one mirror inclined three-mirror cavity photodetector for high-speed application

简介：Thereisatradeoffbetweenthequantumefficiencyandthespectralresponselinewidthinresonant-cavityenhanced(RCE)photodetectors.Recentlyanewtypeofphotodetectorstructurehasbeenproposed,whichutilizesaninclinedmirrorinathree-mirrorcavity.Itdecouplesthequantumefficiencyandthespectralresponselinewidthandhashighresponsespeed,highquantumefficiency,andnarrowlinewidthsimultaneously.Theanalysisresultindicatesthatthelinewidthof0.8nmandquantumefficiencyhigherthan70%canbeachievedonthisdevice.Fora30×30μm2device,themaximumbandwidthapproaches23GHz.
标签：光电探测器量子效应光谱响应三镜空腔

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