近几年来,从半导体集成电路（IC）技术发展而来的微机电系统（microelectromechnicalsystem,MEMS）技术日渐成熟。微型传感器是目前最为成功并最具实用性的微型机电器件,主要包括利用微型膜片的机械形变产生电信号输出的微型压力传感器和微型加速度传感器;此外,还有微型温度传感器、磁场传感器、气体传感器等,这些微型传感器的面积大多在1mm2以下。
纳米科技
2010年3期
