为了测量甲烷气体的含量,研制了一种薄膜声波压电传感器(TFPAS),该传感器主要由压电薄膜、敏感薄膜、硅衬底、电极等组成。其中敏感薄膜采用对甲烷吸附性较强的分散有纳米级MgO颗粒的沥青基活性炭纤维。实验表明该传感器对于甲烷气体的灵敏度很高,且在一定的检测范围内呈线性,检测误差小于5%。
职大学报
2019年2期
