集成电路废水处理系统设计

(整期优先)网络出版时间:2002-07-17
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本文通过调研深入了解了集成电路生产线工艺流程、废水来源及废水组成,介绍集成电路废话水处理工艺流程及原理、主要构筑物和设备以及运转控制条件,列举出主要技术经济指标以及工程设计特点,并且总结了废水处理站实际运行后的经验培训及有关建议,希望对给水排水专业设计人员有所借鉴。