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《河北工业大学学报:社会科学版》
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1999年1期
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光学类测试仪器在微电子行业中的应用
光学类测试仪器在微电子行业中的应用
(整期优先)网络出版时间:1999-01-11
作者:
崔琳;李锁印
文化科学
>教育学
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资料简介
本文介绍了微电子行业中以光学系统为主体的测试类仪器的特点及使用范围,作者根据长期的工作实际,为合理使用此类仪器提供了科学依据。
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本文介绍了微电子行业中以光学系统为主体的测试类仪器的特点及使用范围,作者根据长期的工作实际,为合理使用此类仪器提供了科学依据。
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河北工业大学学报:社会科学版
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