椭偏法测量薄膜厚度与折射率实验的若干探讨

(整期优先)网络出版时间:2012-06-16
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作者利用光学实验中的常规仪器完成了椭偏法测量薄膜的厚度与折射率,探讨了减小误差,提高测量精度的措施.文中还对文献[2]中某些易于产生困惑之处做了分析并给出了合理的解释.