喷射沉积的影响因素及沉积体性能控制

(整期优先)网络出版时间:2000-01-11
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详细分析了喷射沉积的影响因素,归纳了建立数学模型、制定统一工艺标准和实行实时控制3种方式来控制沉积体性能。