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合成三氯氢硅深冷过程的计算及影响因素

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摘要分别运用SRK状态方程和PR状态方程对三氯氢硅合成系统中压缩前后深冷的物料量进行了计算，并与实际检测结果进行比较，结果表明SRK方程和PR方程的计算结果均与实际检测结果相符合，可以用于压缩前后深冷的计算；通过计算得出，提高系统压力以及提高氯化氢气体的纯度均有利于氯硅烷的冷凝。

DOI zdlom5emdl/942116

作者张超

机构地区不详

出处《有色冶金节能》 2010年6期

关键词三氯氢硅合成深冷计算影响因素

分类 [冶金工程][有色金属冶金]

出版日期 2010年06月16日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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来源期刊

有色冶金节能

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