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三氯氢硅合成工艺及其优化研究

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摘要摘要：研究三氯氢硅的合成工艺及其优化策略。通过文献综述和实验验证，探讨了影响三氯氢硅合成效率和质量的关键因素，包括反应条件、催化剂选择和工艺参数优化。研究表明，调整反应温度、催化剂用量和反应时间可以显著提高三氯氢硅的产率和纯度。此外，优化后的工艺方案不仅能够降低生产成本，还能够减少对环境的影响，符合可持续发展的要求。

DOI 34gmmgx384/8471979

作者李成

机构地区江苏鑫华半导体科技股份有限公司

出处《中国科技人才》 2024年8期

关键词三氯氢硅合成工艺优化反应条件催化剂选择生产效率

分类 [建筑科学][建筑技术科学]

出版日期 2024年07月17日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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来源期刊

中国科技人才

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