摘要
ASINGLE-CRYSTALSILICONSYMMETRICALANDDECOUPLEDGYROSCOPEONINSULATINGSUBSTRATE；ALMINIUMNITRIDEBASEDTHINFILMBULKACOUSTICRESONATORUSINGGERMANIUMSACRIFICIALLAYERETCHING；AlterationofPoisson'sratioinhighcouplingpiezoelectrics；Capacitancecouplingmicromechanicalfilter；Coupled,macro-micromodelingforhotdeformationandsintering……
出版日期
2005年01月11日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
