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一种新型的甲烷薄膜压电传感器

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摘要为了测量甲烷气体的含量,研制了一种薄膜声波压电传感器(TFPAS),该传感器主要由压电薄膜、敏感薄膜、硅衬底、电极等组成。其中敏感薄膜采用对甲烷吸附性较强的分散有纳米级MgO颗粒的沥青基活性炭纤维。实验表明该传感器对于甲烷气体的灵敏度很高,且在一定的检测范围内呈线性,检测误差小于5%。

DOI 7j671egrd0/1993042

作者王建秋

机构地区不详

出处《职大学报》 2019年2期

关键词薄膜压电传感器

分类 [文化科学][教育学原理]

出版日期 2019年02月12日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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