简介:TN305.72002032298光学邻近校正改善亚微米光刻图形质量=Opticalproximitycorrectionforimprovingpatternqualityinsubmicronphotolithography[刊,中]/石瑞英(四川大学物理系.四川,成都(610064)),郭永康(中科院微电子中心.北京(100010))//半导体技术.-2001,26(3).-20-26论述了近年来光学邻近校正技术的进展,讨论了各种行之有效的改善光刻图形质量的校正方法,并分析了邻近效应校正在未来光刻技术中的地位和作用。图8表1参14(李瑞琴)TN305.72002032299光刻技术在微细加工中的应用=Applicationoflithographytechnologytomicroelectronicmanufacturing[刊,中]/刘建海(上海先进半导体制造有限
简介:TB853.12006065266可见光CCD摄像机高灵敏度设计=DesignofvisiblelightCCDcameraswithhighsensitivity[刊,中]/李凤苓(重庆光电技术研究所.重庆(400060)),周旭东…//半导体光电.—2006.27(3).—346-348介绍了一种可见光CCD摄像机的设计,就如何保证高灵敏度和降低噪声进行了探讨。图6参4(严寒)TB853.212006065267X光条纹相机时间性能标定=Temporalcharacteristiccali-brationforX-raystreakcameras[会,中]/黄翼翔(中物院
简介:目前数控车削回转曲面的加工及检测需要由三坐标测量机多次检测来实现,而一般机械加工车间的数控车削设备与三坐标测量机常常是多对一的配置关系,易造成待检产品在三坐标测量机处积压,消耗过多无效时间,影响产品的制作周期。另外,产品检测需从机床上卸下,检测后需重新找正装夹,这样即延长了加工的辅助时间,又增加了误差的可能性。针对此现状本项研究的目的是将三坐标的检测原理应用到数控车床上,利用机床自身的坐标系统进行数据采样,在加工误差于允许的范围内,在不进行重复装夹的前提下完成数控车削回转曲面的现场检测。具体方案为接触式检测法,该方法采用不带压力或位移传感器的机械式球形测头进行数据采用,测头表面与工件表面的接触状况用弱电流电路通过发光二极管显示,