简介:摘要:单晶硅应用广泛,应用的领域均涉及微小机构,这使得单晶硅的微细加工至关重要。目前,有众多对单晶硅微细磨削的研究,但缺少对单晶硅微细铣削方面的研究。因此本文基于切削三要素:主轴转速n、每齿进给量fz和切削深度ap,沿着单晶硅(100)的[100]方向加工,采用三因素四水平的正交试验,通过观察加工后单晶硅表面形貌和比较表面粗糙度数值,来研究单晶硅微细铣削表面质量,从而优化微细铣削工艺参数。实验表明:微铣刀的磨损和振动对单晶硅加工形貌影响严重,在实验所取的参数范围内,当fz=0.1(um/z)、n=10000(r/min)、ap=10(um)时,表面粗糙度数值最小,即表面质量最优。
简介:【摘要】洁净实验室是一种医疗卫生行业、精密制造行业、食品加工行业、微电子工业等各行各业专用的实验室,通过各项控制技术人为调节空气环境参数,使其达到室内操作环境指定的标准,具有建设成本高、技术含量高、工艺复杂等特点。同时洁净实验室通风系统的高能耗是目前行业重点关注的问题,本文通过介绍洁净实验室通风空调设计原则,探讨通过调整空气处理机组风量、减少风机运行负荷、引进新型通风设备设施等多项洁净通风空调系统节能措施,保持新风量和进风量平衡,以实现洁净实验室空调通风设计节能降耗的目的[1]。