简介:敏捷制造将成为21世纪制造企业的主导制造模式,制造执行系统(MES)则是企业实施敏捷制造战略以及实现车间生产敏捷化的基本技术手段。在数字化车间概念的基础上,讨论了车间MES的构成与实现形式,并论述了以MES为核心的数字化车间系统集成体系的构建。
简介:前不久,美国加州圣何塞NovellusSystems公司发布了用于300mm晶圆生产的化学机械研磨(CMP)平台,满足并超越了65nm及其以下规格标准的技术和经济需求。Xceda完全是为了应对新一代多层铜/低k结构中的平面化挑战而设计的,通过将溶剂利用率提高到40%,极大地减小了总拥有成本。与传统的