简介:摘要:本文通过更换不同品牌的渗透检验剂和改变不同的检测温度,对硬密封球阀密封面渗透过程中的不润湿现象进行研究。通过对试验结果的分析,制定了合理的工艺检验方案,解决了渗透过程中不润湿现象。
简介:摘要所谓CF即Colorfilter面板行业中的彩膜制程。在RGB三道彩膜制程前需要成形规整的黑矩阵格子来承载RGB色条,形成的这个黑矩阵即为BMBlackMatrix。为了确定曝光出来的BM图形与设计所需图形的吻合程度,一个重要的SPC监控特性值是BMTP。TP即TotalPitch线长,即图案实际长度与设计长度的误差容忍值,一般以ppm为单位。目前行业内BMTP会监控8条边,规格要求为±0.8ppm,计算公式为(实际线长-设计线长)/设计线长*1000000,并要求制程稳定度CPK≥1.33。通过分析本文内容可以看出,提升BMTP的CPK除了传统的变更ScanSpeed和机台模板Offset补正外,变更Scanlayout方向,对BMTPCPK的改善也起到很大的作用。鉴于此,本文就BMTPCPK不达标的分析及改善展开探讨,以期为相关工作起到参考作用。
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