简介:摘要:晶圆湿法清洗工艺是芯片制造中占比最大的关键工艺,晶圆干燥则是湿法清洗工艺中最后且最为关键的一环。干燥的目的是去除晶圆表面的残留液体,保证晶圆表面最终的洁净度。基于机械设计理论及Marangoni效应,设计研究了一种大尺寸晶圆Marangoni干燥系统,详细介绍了系统的工作原理、工作流程及其结构组成。经过实验验证,该系统能够很好的满足大尺寸及超薄晶圆的干燥要求。
简介:摘要:采用Minitab 统计分析软件、梯度测试、回归分析对影响滚筒烘梗丝机各因素进行分析得出影响梗丝干燥出口水分标准偏差的因素主要有:热风温度PID、料头加水参数RP15起动阶段通水持续时间和RP16放大起动阶段通水流曲。通过梯度测试得出热风温度PID调整为P:2.25、I:27、D:38能使热风温度更稳定;通过正交试验得出RP15起动阶段通水持续时间为820,RP16放大起动阶段通水流曲为1.0能使料头控制较稳定。
简介:摘要:太阳能的充分开发和利用离不开太阳能材料和技术的发展。新型太阳能干燥设备将会使人类在能源利用和环境保护两方面达到和谐的境界,为人类创造了一种新的生活形态,使社会及人类进入一个节约能源减少污染的时代。
简介:摘要:梗丝干燥后含水率的高低直接影响着梗丝原料的有效利用率和生产成本。在梗丝干燥后含水率合格率测评中发现,梗丝干燥后含水率合格率较低,部分批次梗丝干燥后含水率合格率不能达到技术工艺标准要求。通过现状调查、原因分析、对策实施、效果验证等方法,开展攻关活动,提高梗丝干燥后含水率的合格率。
简介:摘要:对草甘膦物料的干燥方法进行了回顾和简单分类 , 分析对比了各种干燥方法的优缺点。草甘膦干燥技术的发展和新技术的应用 ,特别是组合干燥技术的应用 ,对草甘膦物料干 燥操作中的节能降耗、改善操作条件、提高产品质量起到了极其重要的作用。