简介:摘要所谓CF即Colorfilter面板行业中的彩膜制程。在RGB三道彩膜制程前需要成形规整的黑矩阵格子来承载RGB色条,形成的这个黑矩阵即为BMBlackMatrix。为了确定曝光出来的BM图形与设计所需图形的吻合程度,一个重要的SPC监控特性值是BMTP。TP即TotalPitch线长,即图案实际长度与设计长度的误差容忍值,一般以ppm为单位。目前行业内BMTP会监控8条边,规格要求为±0.8ppm,计算公式为(实际线长-设计线长)/设计线长*1000000,并要求制程稳定度CPK≥1.33。通过分析本文内容可以看出,提升BMTP的CPK除了传统的变更ScanSpeed和机台模板Offset补正外,变更Scanlayout方向,对BMTPCPK的改善也起到很大的作用。鉴于此,本文就BMTPCPK不达标的分析及改善展开探讨,以期为相关工作起到参考作用。
简介:摘要:催化裂化烟气中含有氮氧化物、二氧化硫、粉尘等物质,国家制定了《石油炼制工业污染物排放标准》(GB31570—2015),规定净化后烟气中粉尘质量浓度不大于10mg·m-3、二氧化硫质量浓度不大于50mg·m-3、氮氧化物质量浓度不大于100mg·m-3。为减少对大气的污染,烟气需达标排放,近些年,催化裂化装置都陆续建成烟气脱硫和脱硝设施。正常生产过程,烟气达标排放没有问题,但在停工过程,由于催化烟气中含有大量的粉尘,直接进余热炉,在炉管表面会有大量的积灰,影响余热炉的检查与维修。
简介:摘要: W型燃气涡轮起动机是一种带动力涡轮的小型涡轴发动机。该型起动机在厂内试车时连续出现燃气涡轮转子转速超标、大发冷运转排温高故障。围绕该故障,从分析起动机结构着手,在深入研究燃气涡轮转子转速影响规律和排气温度影响规律的基础上,通过运用燃气涡轮 /动力涡轮导向器匹配、机械法截尾缘等技术,结合压气机结构改进等,经多次整机试验、验证后,从根本上解决该型起动机燃气涡轮转子转速超标、大发冷运转排温高等性能不达标问题。