简介:采用超高真空气相沉积系统外延硒(Se)超薄层钝化Si(100)表面,研究其与金属铝(A1)、铂(Pt)的接触特性。对于A1与Se钝化后的Si接触样品,其肖特基势垒高度(SBH)值为0.2eV,相比于HF处理的样品,SBH降低了一半;随着退火温度从200P升至500P,SBH值逐渐升高至HF处理的样品的SBH值。而对Pt与Se钝化的Si接触样品,未退火时电流电压特性基本与HF处理的样品一致,然而快速热退火后,Se钝化的样品基本保持不变,而HF处理的样品反向偏置电流迅速增大。通过拟合金半接触SBH与金属功函数的关系,得到线性关系的斜率为:=0.41,说明硒超薄层可以降低Si(100)表面与金属接触费米钉扎效应。