简介:为了最大限度克服微机电陀螺的两个模态的相互耦合作用,提高微机电陀螺的综合性能指标,采用国内现有MEMS标准工艺方法,设计和制作了一种高性能单晶硅对称解耦结构的线振动陀螺。采用对称结构形式和保证陀螺驱动和检测模态振型都是弯曲振动模式,易于模态匹配;由于采用驱动模态和检测模态结构解耦方式,从微结构设计上大大降低了正交耦合误差影响,使陀螺具有输出零位小、零偏稳定性好的优点。测试结果表明:初次加工的样机,在大气中驱动和检测模态固有频率分别在2430Hz和2580Hz左右,在150Hz带宽内具有0.1~0.5(°)/s的分辨率;随着加工精度的提高和检测电路的改进,该陀螺在大气中15Hz带宽内实现0.008(°)/s的分辨率,在真空状态下,这种高性能单晶硅对称解耦结构的线振动陀螺性能会有进一步的提高。
简介:提出一种利用感应腔1个支路和角向传输线实现直线型变压器驱动源(lineartransformerdriver,LTD)开关同步触发闭合的新方法,触发支路与LTD感应腔其他支路具有相同工作电压和气压,触发支路不包围磁芯.当触发支路开关被外施1路脉冲触发闭合后,产生快前沿高电压脉冲并沿角向线传输,触发感应腔其他支路开关.该触发方式在20支路并联500kALTD感应腔和34支路并联0.1Hz重频800kALTD感应腔上证明可行.基于该触发方式感应腔,又给出了从上游感应腔触发支路引出脉冲触发下游相应位置感应腔的次级为水介质传输线多级串联LTD驱动源的同步触发方法,可显著降低Z箍缩驱动源的外触发脉冲数量.