简介:论文摘要:浙江某发电厂#2炉,2016年A修期间,为清除锅炉受热面沉积物,改善锅炉运行状况,对#2炉进行了化学清洗,提高机组运行安全性和经济性。
简介:摘要本文提出了一种相移掩模(PSM)在国产清洗机PMC1500上清洗时phase掉落幅度控制的方法。在相移掩模制备过程中,影响phase值大小的因素较多,干法蚀刻的时间,清洗工艺等对相移掩模的phase值都有很大的影响。177°—183°的phase大小,是PSM版在晶圆工厂使用的常规要求,研究中提出了对相移掩模清洗phase值掉落的控制,在保证清洗能力的情况下,通过对清洗过程中影响phase值掉落的重要因素进行改良,清洗流程包中包含SPM清洗以及SC1清洗的工艺,通过逐一改变SPM以及SC1的清洗条件,实现对PSM掩模phase值掉落的控制研究,最终确定了SC1清洗工艺时间对PSM掩模phase掉落的影响较大,通过控制SC1的清洗工艺方式,有效地控制PSM掩模清洗时phase值的掉落。
简介:本文研究了清洗液中联氨浓度,清洗温度,钝化液pH对低温EDTA化学清洗基建锅炉效果的影响。结果表明联氨浓度为2000ppm,清洗温度为90℃,清洗效果最好;碱性钝化时pH为9.0左右时钝化效果最佳。