简介:通过同步X光荧光(SXRF)成分分析,定性地研究了在0.5atm、0.6atm、0.7atmAs压下1150℃进行退火处理后衬底化学与比的变化。结果表明:控制As压可以改变化学配比,在足够As压下的高温退火将改善化学配比均匀性。
简介:
高温退火过程中As压对SI—GaAs化学配比的影响
人肝细胞胞质溶胶等电聚焦分离后金属蛋白的同步辐射X-荧光检测